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真空控制器
控制器型号： DVR-1000、DPR-1100、DDR-1200
控制器类型：真空控制器、 压力控制器、 真空 / 压力控制器
真空 / 压力控制范围：真空 0.1-760 Torr需选择一个或两个比例阀；压力 0 psi-50 psi 需选择一个比例阀；压力 0 psi-35 psi，需选择两个比例阀
控制器调节精度：0.015% F.S、0.015% F.S、0.015% F.S
控制器分辨率：0.1 Torr /0.133mbar、0.1 Torr/ 0.133mbar、0.1 Torr /0.133mbar
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